
仪器型号:FE-2050T
制 造 商:纳克微束
原 产 地:北京
更新时间:2025-10-24
镜筒内减速技术
搭载镜筒内减速技术,在极低着陆电压下仍可以有效控制像差,提供超高分辨成像水平。
”三物镜“技术
物镜系统由两组电磁透镜和一组静电透镜组成,三组物镜均可独立控制并任意组合以聚焦电子束;三种物镜的灵活组合可以应对更加多样的观测场景,用户在不改变工作距离的前提下即可实现一键全自动切换超大视野、超大景深、超高分辨等多种成像模式。
MD多功能能量选择探测器
可同时收集SE、中角度BSE信号,生成同时展示形貌衬度与成分衬度、突出样品表面轮廓的图像;能量滤波网格设计,SE信号、BSE信号(<4000eV)可被滤掉,增强样品表面特征的BSE衬度。
成像图:
| 技术参数 | 规格详情 |
|---|---|
| 电子枪 | 高亮度肖特基电子枪 |
| 镜筒技术 | 镜筒内减速技术;"三物镜"技术(双组磁透镜,单组电透镜) |
| 分辨率 | 高真空:0.7nm@15kV; 1.2nm@1kV; 1.5nm@500V 低真空:2nm@15kV |
| 放大倍率 | x2~x2,000,000 |
| 最低可成像电压 | 30V |
| 束流 | 1pA-400nA,连续可调 |
| 最大成像视野 | 80mm |
| 样品台行程 | X=130mm, Y=130mm, Z=95mm |
| 样品台倾斜角度 | -70°~+90° |
| 电子枪极限真空 | < 1.0×10^-7Pa |
| 主仓室极限真空 | < 1.0×10^-3Pa |
| 换样时间 | < 3.5分钟 |
| 尺寸/重量 | L×W×H:760nm×960nm×1850mm; 700kg |
超高分辨能力
旗舰级场发射电子光学镜筒,
最高分辨能力可达1.2nm@1kV,0.7nm@15kV
镜筒内减速
配备镜筒内减速技术,可以提供低至50eV的超低能量超高分辨成像能力,轻松观察样品极表面细节
绝缘样品、不耐辐照样品、磁性样品均可观测
多模式一键切换
三物镜结构提供更加灵活多变的物镜组合模式,无需改变工作距离即可一键切换超大视野、超大景深、超高分辨、超大束流等多种观测模式。
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